中微惠创科技（上海）有限公司（简称“中微惠创”）为中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”，上交所股票代码：688012）的全资子公司，于2014年12月在上海临港注册成立。中微惠创着力于泛半导体行业的环保设备、新能源等领域产品的研发、生产和销售。中微惠创面向电子工业开发设计的VOC（挥发性有机气体）处理设备已广泛用于改善面板显示行业生产线的洁净室工作环境；中微惠创生产制造的国产化Scrubber设备将应用于集成电路、面板显示、LED与太阳能行业等。