Preforma Uniflash®TaN是中微自主研发的12英寸原子层沉积产品，可满足逻辑器件和存储器件多个应用需求。该产品继承中微独特的双反应台设计，系统可灵活配置多达五个双反应台反应腔(十个反应台),可以达到业界领先的生产率，也可以根据客户产能实现灵活配置的需求。该产品采用中微自主开发的温度控制系统设计，多区流道设计，多源供应系统设计和可实现高速气体置换效率的腔室设计，可满足先进逻辑和存储客户性能需求的同时，设备的污染物控制，薄膜均一性，生产效率均达到世界先进水平。