Preforma Uniflash®TiAl是中微自主研发的12英寸原子层沉积产品，可满足先进逻辑器件金属栅应用需求。该产品继承中微独特的双反应台设计，系统可灵活配置多达五个双反应台反应腔(十个反应台),可有效满足高真空工艺集成需求的同时，可以达到业界领先的生产率。该产品采用中微自主开发的温度控制系统设计，独特的表面处理技术，多区气体分布系统设计和基于模型算法的加热系统设计等，可满足先进逻辑客户性能需求的同时，设备的污染物控制，薄膜均一性，生产效率均达到世界先进水平。