中微具有自主知识产权的MOCVD设备可配置多达4个反应腔,可以同时加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片,工艺能力还能延展到生长6英寸和8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制,这一设计可以实现优异的生产灵活性。PRISMO D-BLUE®是首台被主流LED生产线采用并进行大批量LED和功率器件外延片生产的国产MOCVD设备。
首台被主流LED生产线采用并进行大批量LED外延片生产的国产MOCVD设备
可独立控制的反应腔运行模式
自主的实时监控系统
精准的参数控制
全自动化处理
符合半导体标准的软件控制系统
优异的工艺重复性,简化工艺调整需求,提高产品良率
19英寸大尺寸托盘极大地提高了设备单位产能,降低了生产成本
集成顶盖升降机构,简化设备维护,提高设备利用率
符合SEMI S2安全标准,提升设备的安全性能