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  1. 成为科创板首批上市公司之一

  2. 中微在美国VLSIresearch举办的全球客户满意度调查中连续排名前列,综合评分全球第三,是五个被评为五星级企业之一

  3. 完成股份公司整体变更

  4. 中微在美国VLSIresearch举办的全球客户满意度调查中荣登上榜,在全球晶圆制造设备供应商中排名第三,是唯一一家上榜的中国本土半导体设备公司

  5. 中微第100台MOCVD Prismo A7®反应腔付运里程碑

  6. 中微刻蚀设备进入国际先进7纳米生产线

  7. 首台双反应台ICP刻蚀设备产品研制成功

  8. 首台单反应台ICP刻蚀设备产品研制成功,并运往国内客户

  9. 中微7纳米介质刻蚀设备研制成功

  10. 首台第二代MOCVD设备产品研制成功,并运往国内客户

  11. 首台VOC设备产品研制成功,并运往国内客户

  12. 中微14纳米介质刻蚀设备研制成功

  13. 中微、国家集成电路产业投资基金和苏州聚源东方完成对拓荆投资

  14. 中微反应台交付量突破400台

  15. 由于中微等离子体刻蚀机的成功研发和量产,美国商务部取消了等离子体刻蚀机对中国的出口控制

  16. 《国家集成电路产业发展推进纲要》发布后,中微成为第一家“大基金”投资的企业

  17. 中微22纳米介质刻蚀设备研制成功

  18. 首台MOCVD设备产品研制成功,并运往国内客户

  19. 二期新厂房22,000平方米落成启用

  20. 中微45纳米介质刻蚀设备研制成功

  21. 首台TSV/MEMS/Dicing刻蚀设备产品研制成功,并运往客户

  22. 入选“02专项”首批项目承担单位

  23. 首台CCP刻蚀设备产品研制成功,并运往国内客户

  24. 一期新厂房6,500平方米落成启用

  25. 在张江高科技园区启动运营