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Prismo D-BLUE®

首台被主流LED生产线采用并进行大批量LED外延片生产的国产MOCVD设备

中微具有自主知识产权的MOCVD设备可配置多达4个反应腔,可以同时加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片,工艺能力还能延展到生长6英寸和8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制,这一设计可以实现卓越的生产灵活性。Prismo D-BLUE®是首台被主流LED生产线采用并进行大批量LED和功率器件外延片生产的国产MOCVD设备。

产品特点

  • 串行并行、可灵活切换的反应腔运行模式
  • 创新的实时监控系统
  • 精准的参数控制
  • 全自动化处理
  • 界面友好的操作系统

竞争优势

  • 优异的工艺重复性和均匀性
  • 符合SEMI S2安全标准
  • 高良率、高产能和低成本投入
  • 简便易行的设备维护