logo
logo
x

网站导览

产品图片

Prismo A7®

用于LED外延片大规模量产的MOCVD设备

中微具有自主知识产权的MOCVD设备Prismo A7®可配置多达4个反应腔,可以同时加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片,工艺能力还能延展到生长8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制,这一设计可以实现卓越的生产灵活性。 中微配备了716毫米托盘的MOCVD设备Prismo A7为LED高产能而设计,是目前业内LED产能最高、单位能耗最低的MOCVD设备。Prismo A7每个反应腔的产量是前一代MOCVD设备Prismo D- BLUE®的2倍多。

产品特点

  • 串行并行、可灵活切换的反应腔运行模式
  • 创新的实时监控系统
  • 精准的参数控制
  • 全自动化处理
  • 界面友好的操作系统

竞争优势

  • 优异的工艺重复性和均匀性
  • 符合SEMI S2安全标准
  • 高良率、高产能和低成本投入
  • 简便易行的设备维护