自2004年中微公司成立以來，尹志堯博士一直擔任公司的董事長兼首席執行官。 他將自己超過28年的產品開發和行政管理經驗應用於公司管理，促進了電晶體設備行業的發展。
成立中微之前，尹志堯博士曾在應用資料公司任職13年，曾擔任公司副總裁、电浆刻蝕設備產品事業群總經理、亞洲區採購副總裁、應用資料亞洲首席科技官等。
尹志堯博士於1984年第一次到矽谷，並加入了英特爾科技發展中心。 1986年，他加入了Lam Research並引領了刻蝕科技的發展，同時為一些關鍵產品帶來了解決方案。
尹志堯博士於中國科學技術大學獲得了物理化學學士學位，隨後在北京大學化學學院完成了碩士學習。 他還獲得了加州大學洛杉磯分校的物理化學博士學位。 尹志堯博士曾作為研究組組長就職於中科院。

陳偉文先生現任中微電晶體設備（上海）股份有限公司集團副總裁兼首席財務官。 在2012年加入中微公司前，陳先生歷任美國上市公司海王星辰和阿特斯太陽能副總裁兼首席財務官，並曾任職於霍尼韋爾國際、普華永道等跨國企業。 多年來，陳先生在財務管理、稽核、風險管理、上市公司治理等方面積累了較扎實的經驗。 陳先生於1991年畢業於廈門大學，後留學美國獲阿拉巴馬大學碩士學位。 他是註冊會計師。

倪圖强博士在中微擔任資深副總裁。 他主要領導用於高端電介質刻蝕的Primo D-RIE和Primo AD-RIE設備的研發和專案管理，現時著重於刻蝕工藝反應腔體科技、电浆源、电浆物理和电浆化學方面的研發。
加入中微之前，他曾在Lam Research公司新產品部門擔任主要科技專家，並是Lam2300系列刻蝕產品的發明者之一。
倪圖强博士本科畢業於中國科學技術大學，之後在德州大學達拉斯校區獲得了化學博士學位。

作為資深行業人士和中微公司創立者之一，James主要領導工程技術部門的發展，負責中微產品研發過程中的軟體發展、電力控制和平臺建立與維護。
在2004年加入中微之前，James曾在應用資料公司擔任軟體工程首長。 1995年加入應用資料公司之後，James擔任過一系列工程管理職位，並負責公司最成功的PVD產品的軟體發展和支持。
James於西安交通大學獲得了電機工程學士學位和碩士學位。 在赴美工作之前，曾在西安交通大學人工智慧和機器人學院任教七年。