第1500個CCP刻蝕設備反應臺順利付運

中微完成再融資發行，共募資82億元

發佈用於高性能Mini-LED量產的MOCVD設備Prismo UniMax ®

首臺8英寸CCP刻蝕設備Primo AD-RIE 200 ™ 順利付運

中微電晶體設備產業化項目簽約落戶上海自貿試驗區臨港新片區“東方芯港”集成電路綜合性產業基地

發佈用於深紫外LED量產的MOCVD設備Prismo HiT3 ®

成為科創板首批上市公司之一

中微在美國VLSIresearch舉辦的全球客戶滿意度調查中連續排名前列，綜合評分全球第三，是五個被評為五星級企業之一

完成股份公司整體變更

中微在美國VLSIresearch舉辦的全球客戶滿意度調查中榮登上榜，在全球晶圓製造設備供應商中排名第三，是唯一一家上榜的中國本土電晶體設備公司

中微第100臺MOCVD Prismo A7 ® 反應腔付運里程碑

中微刻蝕設備進入國際先進7納米生產線

首臺雙反應臺ICP刻蝕設備產品研製成功

首臺单眼應臺ICP刻蝕設備產品研製成功，並運往國內客戶

中微7納米介質刻蝕設備研製成功

首臺第二代MOCVD設備產品研製成功，並運往國內客戶

首臺VOC設備產品研製成功，並運往國內客戶

中微14納米介質刻蝕設備研製成功

中微、國家集成電路產業投資基金和蘇州聚源東方完成對拓荊投資

中微反應臺交付量突破400臺

由於中微电浆刻蝕機的成功研發和量產，美國商務部取消了电浆刻蝕機對中國的出口控制

《國家集成電路產業發展推進綱要》發佈後，中微成為第一家“大基金”投資的企業

中微22納米介質刻蝕設備研製成功

首臺MOCVD設備產品研製成功，並運往國內客戶

二期新廠房22000平方米落成啟用

中微45納米介質刻蝕設備研製成功

首臺TSV/MEMS/Dicing刻蝕設備產品研製成功，並運往客戶

中微公司一

首臺CCP刻蝕設備產品研製成功，並運往國內客戶

一期新廠房6500平方米落成啟用

在張江高科技園區啟動運營