自2004年中微公司成立以来，尹志尧博士一直担任公司的董事长兼首席执行官。他将自己超过28年的产品开发和行政管理经验应用于公司管理，促进了半导体设备行业的发展。

成立中微之前，尹志尧博士曾在应用材料公司任职13年，曾担任公司副总裁、等离子体刻蚀设备产品事业群总经理、亚洲区采购副总裁、应用材料亚洲首席技术官等。

尹志尧博士于1984年第一次到硅谷，并加入了英特尔技术发展中心。1986年，他加入了Lam Research并引领了刻蚀技术的发展，同时为一些关键产品带来了解决方案。

尹志尧博士于中国科学技术大学获得了物理化学学士学位，随后在北京大学化学学院完成了硕士学习。他还获得了加州大学洛杉矶分校的物理化学博士学位。尹志尧博士曾作为研究组组长就职于中科院。

作为中微副总裁暨大中华事业群总经理，朱新萍先生极大地推动了中微在该地区的销售、客户服务和应用支持等方面的发展。

朱新萍先生在半导体行业工作近二十年。加入中微之前，他曾担任台湾应用材料公司（Applied Materials）高级经理一职。该期间，他曾任多项职务，涉及技术开发、客户支持和市场营销等领域。在加入应用材料之前，他曾在华邦电子（Winbond）和台湾世大集成电路（WSMC）工作，主要负责程序开发和产量提高。

朱新萍先生毕业于台湾国立成功大学，并获得了工程学学士学位。

陈伟文先生现任中微半导体设备（上海）股份有限公司集团副总裁兼首席财务官。在2012年加入中微公司前，陈先生历任美国上市公司海王星辰和阿特斯太阳能副总裁兼首席财务官，并曾任职于霍尼韦尔国际、普华永道等跨国企业。多年来，陈先生在财务管理、审计、风险管理、上市公司治理等方面积累了较扎实的经验。陈先生于1991年毕业于厦门大学，后留学美国获阿拉巴马大学硕士学位。他是注册会计师。

刘晓宇先生，中国国籍，无境外永久居留权，浙江大学学士、复旦大学-BI挪威商学院工商管理硕士。2001年至2005年，担任中芯国际集成电路制造（上海）有限公司战略市场部分析师；2005年至今，历任中微公司市场部经理、市场部资深经理、市场部总监、公共关系部资深总监、董事会办公室执行总监。现任中微公司副总裁兼董事会秘书。

倪图强博士在中微担任资深副总裁。他主要领导用于高端电介质刻蚀的Primo D-RIE和Primo AD-RIE设备的研发和项目管理，目前着重于刻蚀工艺反应腔体技术、等离子体源、等离子体物理和等离子体化学方面的研发。

加入中微之前，他曾在Lam Research公司新产品部门担任主要技术专家，并是Lam2300系列刻蚀产品的发明者之一。

倪图强博士本科毕业于中国科学技术大学，之后在德州大学达拉斯校区获得了化学博士学位。

作为资深行业人士和中微公司创立者之一，James主要领导工程技术部门的发展，负责中微产品研发过程中的软件开发、电气控制和平台建立与维护。
在2004年加入中微之前，James曾在应用材料公司担任软件工程主管。1995年加入应用材料公司之后，James担任过一系列工程管理职位，并负责公司最成功的PVD产品的软件开发和支持。
James于西安交通大学获得了电机工程学士学位和硕士学位。在赴美工作之前，曾在西安交通大学人工智能和机器人学院任教七年。

加入中微公司之前，刘身健博士在日本和美国等离子刻蚀领域工作20多年，在反应器核心技术、先进工艺应用开发、产品市场化及满足客户需求方面有极其丰富的经验。他曾在等离子体刻蚀领先厂商泛林研究公司担任重要职位、与全球各大芯片制造的顾客合作开发应用技术，改进设备性能，在业界有很好的信誉。

刘身健博士于1985年获得北京理工大学获学士学位，后于日本名古屋大学获工学博士学位。

陳志邦先生於2008年加入中微公司，他一直担任中微台灣分公司及大陸華南區域的銷售丶營運管理丶客戶服務丶產品及市場行銷。成功地推動中微在該地區的重要發展。他在半导體设备行业有超过22年的團隊管理经验。

在加入中微之前，陳志邦先生曾在应用材料公司（Applied Materials）任职11年，历任应用材料銷售主管、产品经理，涉及在刻蝕、晶圓淸冼及金屬薄膜況積等新産品的技術管理,、市場開發及銷售。

陳志邦先生畢業于國立成功大學（NCKU）化學工程學系，後在台灣大学(NTU)获得了化學工程硕士学位。